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第338章 euv光刻机研发先奖5000万邓小岩感动了（第2页）

当然，其他方面也要提升，但难度相对低很多。

“是！”谢武激动坏了。

深紫外光？

他听过，却没有相关研究。

以他对陈皓的了解，肯定会给出技术资料，而他也将有机会成为，该领域研发第一人！

“陈总，这……”

杜杨和顾经纶傻眼了。

新一轮研发中，谢武直接组建团队，他俩难道要打下手？

莫非……

谢武是上交大校长，跟陈总有师生之名。

任人唯亲？

“光刻机第二轮研发，包括两个方面。”

陈皓正色道：“一是以谢校长为首，对浸润式光刻机技术，进行深度研发、提升。”

短时间不可能达到极致的7纳米。

需要循序渐进。

70纳米提高到45纳米……

45纳米提高到32纳米……

如此缓步递进，可能只要两三个月，就能出一次新成果。

“二是杜总师、顾总师，组建一支新的研发团队，进行EUV光刻机研发！”陈皓沉声道。

两步走计划。

提升光源技术，对已有浸润式光刻机，进一步挖掘潜力。

难度小很多，短时间能出成果。

另一边。

进行全新的光刻机研发！

需时较长。

“EUV光刻机？”顾经纶茫然。

没听过！

“极紫外式光刻机。”

陈皓沉声道：“生产7纳米及以下芯片，最高精度达到1纳米。”

什么？！

所有人都傻愣着一动不动。

1纳米！

比目前市场上，最先进的芯片精度，提升百倍以上！

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